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::: 研發成果

研究報告

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【年度】99 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 光電感測辨識模組與應用技術計畫
報告名稱 非對稱陣列微型透鏡製程技術期中報告
撰寫人 楊錫杭
性質 研究
內容摘要 本研究以建立陣列非對稱透鏡母片製作、電鑄翻模模具製程與成品試作檢測為主題，擬用光刻微影製程定義出非對稱透鏡之體積，再以熱重流法促使體積形狀之轉變，運用微尺度下表面張力作用，提升內聚力促成微結構流變，完成非對稱透鏡曲面之成型，經驗正符合預期之透鏡形狀，再以電鑄製程製作模具，可供量產用途。研究範圍包含光刻微影之結構製作，光阻結構之熱重流過程，固相轉變液相，再回復成具有特定曲面之透鏡結構。光阻透鏡結構經濺鍍金屬薄膜，形成導電層，導入電鑄製程，後續研討電鑄過程須克服內應力形變，透鏡結構複製效果，確保形狀誤差小於1