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::: 研發成果

研究報告

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【年度】99 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 生醫材化
計畫名稱 特用金屬材料應用研究發展三年計畫
報告名稱 顯示元件用銅鉬合金靶材及薄膜特性研究
撰寫人 廖健鴻
性質 研究
內容摘要 本研究旨在探討由以銅與鉬是兩種不互溶之金屬元素，利用熱壓製程將銅粉及鉬粉在高溫高壓下製作成三吋之靶材，並以濺鍍方式進行銅鉬膜之薄膜特性研究，以評估本組自製銅鉬合金靶材之效能。研究結果顯示熱均壓製作之銅鉬靶，整個靶材各部位均壓的很密實並未發生有目視孔洞及微縮孔等缺陷。而銅粉與鉬粉無法藉熱壓製程使其互熔，而是鉬粉之以顆粒狀方式均勻的散佈在銅基地上。而熱壓後之銅鉬靶其晶粒尺寸約為10~40μm。由薄膜實驗分析結果得知，以Cu-5wt%Mo靶配合150W(DC)鍍膜參數，所鍍之薄膜電阻值最低、平坦度最佳。銅鉬膜經