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::: 研發成果

研究報告

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【年度】99 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 生醫材化
計畫名稱 特用金屬材料應用研究發展三年計畫
報告名稱 高純度鉻靶材製程技術開發及鍍膜特性研究
撰寫人 蔡如伶
性質 研究
內容摘要 本研究使用的是純度為99.99%、粒徑約45μm的鉻粉，為避免活性大的鉻氧化，影響靶材的純度。由中鋼公司協助封罐，在1000℃、100MPa進行熱均壓，持溫兩個小時。熱均壓過的靶材再委託中鋼公司在1250℃進行熱軋，共8道次，軋延比為18%，製作出純度是99.98%、粒徑是11.2μm、相對密度是97.177%、尺寸是L 500×W200×H6(mm)的鉻靶材，已符合計畫目標要求。