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::: 研發成果

論文

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【年度】99 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 新世代能源關鍵技術開發計畫
論文名稱 以真空濺鍍法製備銅銦鎵前驅層暨硒化熱處理之研究
論文類型 研討會
發表處 2012年材料年會
發表人 吳政翰
發表日期 99/11/19
國家 國內
內容摘要 本研究以真空濺鍍法及硒化熱處理製備銅銦鎵硒(CuIn1-xGaxSe2, CIGS)薄膜太陽能電池中的吸收層銅銦鎵硒薄膜，針對銅銦鎵硒薄膜的表面形貌、化學組成及結晶性進行分析。在濺鍍製程中，以二元銅鎵靶和單元銦靶分層堆疊在鈉玻璃上製成銅銦鎵預鍍層，並找出適合的化學組成。硒化熱處理中在不同階段改變加熱溫度以及持溫時間，以得到較佳的相組成。本研究中，藉由調整濺鍍參數的方式，前驅層薄膜達到接近理想比例(Cu/In+Ga=0.8~0.95)之組成成份；研究結果發現在改變硒化各階段的溫度及時間，較能控制鍍層薄膜中的組成分佈及提升薄膜的結晶性。