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::: 研發成果

論文

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【年度】99 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 光電感測辨識模組與應用技術計畫
論文名稱 應用自動光學顯微干涉術之微透鏡陣列表面輪廓檢測及其使用方法
論文類型 研討會
發表處 2010第十八屆全國自動化科技研討會
發表人 傅書賢、林宸生、張勛愷、羅國豪、葉茂勳
發表日期 99/06/25
國家 國內
內容摘要 本研究為一種應用於自動化光學顯微干涉術之微透鏡陣列表面輪廓檢測，其架構簡單、具有非接觸式檢測及適用於各種不同大小之微透鏡檢測優點。利用CCD搭配顯微鏡組，結合雷射光源形成顯微干涉之自動光學檢測系統。