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::: 研發成果

專利權

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【年度】102 年研發成果
【項目】 專利權
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
專利名稱 無孔型抛光墊
發明人 蔡明義,王俊凯,李大青
國家 中華民國
性質 新型
技術摘要 一種無孔型拋光墊，其可用於化學機械拋光製程，此無孔型拋光墊包含一本體、複數個鑽石微粒及複數個石墨微粒，本體具有一表面，鑽石微粒及石墨微粒均勻分散於本體，且部分鑽石微粒及部分石墨微粒局部露出前述之表面。藉由鑽石微粒參與研磨，有助於晶圓氧化層的移除，藉由石墨微粒的固態潤滑作用，可使拋光漿料充分地潤濕無孔型拋光墊表面，而提升研磨效率。
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