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::: 研發成果

論文

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【年度】102 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
論文名稱 奈米鑽石石墨研磨墊應用於化學機械研磨移除晶圓氧化層特性之研究
論文類型 期刊
發表處 技術學刊2013
發表人 蔡明義,陳建勳
發表日期 102/12/20
國家 國內
內容摘要 化學機械研磨為半導體製程中唯一可達到全面平坦化的關鍵技術。目前應用於化學機械研磨製程中的研磨墊，皆以聚胺酯發泡型高分子為主，因其發泡結構使得研磨墊表面佈滿孔洞可儲存研磨液，但也因孔洞直徑大小不一致，造成研磨液消耗過度。故本研究在聚胺酯高分子中添入兩種比例之奈米鑽石與石墨粉末，成型後製成無孔型奈米鑽石石墨研磨墊並搭配組合式鑽石修整器對晶圓氧化層進行化學機械研磨及機械性質之探討。添入石墨粉末目的在於石墨具備潤濕性質，可使研磨液充分的潤濕研磨墊表面，而添入奈米鑽石粉末目的在於使粉末均勻的分佈於研磨墊上，有助於晶