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::: 研發成果

論文

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【年度】103 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 高階手持裝置三維整合應用技術計畫
論文名稱 鋁金屬氮化物元件板材平坦化研究
論文類型 研討會
發表處 化學年會
發表人 郭養國、尤逸玄 、呂忠諺、阮建龍、謝侯安
發表日期 2014/11/22
國家 國內
內容摘要 新式氮化鋁基板研磨等加工參數之相關探討，研究出最適化之加工條件。