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::: 研發成果

研究報告

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【年度】103 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 碳化矽4吋長晶機台設計報告
撰寫人 陳漢錤、謝維昇、黃代民、蔣佑良
性質 研究
內容摘要 長晶設備小組之主要任務是配合科專『智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫』之子計畫「節能高功率元件與模組技術」之高功率元件單晶生長研發需求，自行開發研製碳化矽(SiC)長晶機台設備。103年度主工作要是進行長晶設備細部設計及繪圖、關鍵設計審查、設備購案及設備組成，本報告主要說明長晶機台之機械設計關鍵組件如長晶艙體、真空系統、氣體供應系統、冷卻水系統之設計審查，並明定組件關鍵設計規格及需求，做為未來精進設計之依據及參考。