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::: 研發成果

研究報告

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【年度】103 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 對稱型石墨氣氛爐熱場模擬研究
撰寫人 黃文星
性質 研究
內容摘要 針對物理氣相傳輸法生產碳化矽開發一數值模擬系統，針對4吋單晶碳化矽的生長，分析並探討坩堝構型對晶體生長狀況的影響，作為改良生長大尺寸碳化矽晶體品質的方案。