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::: 研發成果

專利權

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【年度】104 年研發成果
【項目】 專利權
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
專利名稱 一種移動式定頻高週波加熱溫控裝置
發明人 謝維昇,黃代民
國家 中華民國
性質 新型
技術摘要 本創作一種移動式定頻高週波加熱溫控裝置，可成長品質較高的單晶晶體，移動式加熱線圈透過平台支架、滾珠螺桿與步進馬達的移動機構，滾珠螺桿精密的機械定位與傳動，以及步進馬達高精度的驅動與定位，產生細微可移動的溫度梯度，配合高週波加熱功率、溫度量測、壓力量測、氣體濃度等參數，由控制系統控制高週波加熱線圈移動速率，隨著晶體成長維持穩定的溫度梯度，提升長晶製程品質。
聯絡人姓名 黃代民