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::: 研發成果

論文

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【年度】104 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 高階手持裝置三維整合應用技術計畫
論文名稱 快速大氣噴射電漿燒結氮化鋁
論文類型 壁報論文
發表處 材料年會
發表人 丘一汎1,* 李至弘1 尤逸玄2 陳建彰1
發表日期 2015/11/24
國家 國內
內容摘要 本研究應用大氣電漿快速燒結奈米多孔性氮化鋁 (nanoporous AlN) ，奈米多孔性氮化鋁是經由氮化鋁奈米粉末混合乙基纖維素 (ethyl celluloses) 、無水萜品醇 (terpineol) 等有機物混合成氮化鋁膠體溶液，經由網印法網印到基板上，最後再利用大氣電將有機物移除。大氣電漿燒結奈米多孔性氮化鋁只需約5 秒鐘，隨著大氣電漿燒結時間增加並不會影響奈米晶體結構、光學性質；燒結後氮化鋁的含氮量則略為上升。