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::: 研發成果

研究報告

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【年度】104 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 碳化矽多晶粉末繞射及成長晶體定向加工操作之研究
撰寫人 黃俊彬
性質 技術
內容摘要 本文改善提案為針對生長後的碳化矽晶球，先經由滾邊及切割加工作業才能進行研磨及檢測，因滾邊及切割皆是屬於破壞性的加工方式，其加工過程易對晶塊造成破損，故下述將針對加工作業中提議改善方式，以提高碳化矽加工品質。