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::: 研發成果

研究報告

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【年度】104 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 碳化矽高溫長晶爐熱場模擬與研改
撰寫人 葉芳霽
性質 技術
內容摘要 本文針對單晶碳化矽晶體長晶技術之物理氣相傳輸法作數值模擬，使用VR PVT SiC軟體 [1]，加入碳化矽昇華與結晶之化學反應機制，完成各種外形與邊界條件設定之測試與驗證，藉著對不同坩鍋外型、線圈位移、晶種膠合方式與溫度控制等變異條件的分析結果，探討各因素對溫場與長晶形狀之影響，有助於了解實際長晶歷程變化方式與長晶結果之推測與解釋。