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::: 研發成果

研究報告

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【年度】104 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 碳化矽單晶成長原料及晶體雜質分析
撰寫人 林彥光
性質 技術
內容摘要 目前碳化矽單晶成長以PVT法為主流，關鍵在於溫度場及環境的控制，本文主要使用輝光放電質譜儀(GDMS)分析及探討製程中雜質含量的變化。