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::: 研發成果

研究報告

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【年度】104 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 智慧綠能電子/車電關鍵技術計畫
報告名稱 SiC長晶設備-定頻式高週波加熱長晶機台系統設計
撰寫人 黃代民
性質 技術
內容摘要 本篇報告旨在研究高溫單晶 SiC 長晶設備自製研究分析及設計，並配合 院內自主開發 SiC 長晶製程的關鍵技術，將現行變頻式 SiC 高週波長晶設備 進行改善工程，研究開發滿足需求的定頻式 SiC 高週波長晶設備，目的於 SiC 單晶磊晶的過程中提供更佳的穩定性與品質。最後在不受制於國外大廠 以及專利的限制下，未來可自行提升長晶設備自製能力，建立自有品牌，整 合供應鏈上中下游，除可對未來 SiC 基板自給自足外，更能促進國內光電產 業有更大發展遠景。