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::: 研發成果

研究報告

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【年度】104 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 軍民通用之高功率模組產業及應用生根計畫
報告名稱 碳化矽長晶原料清洗技術報告
撰寫人 林柏丞、趙英琮
性質 技術
內容摘要 本標準操作程序詳述高溫組碳化矽單晶成長碳化矽原料清潔之程序，使工作人員有所依循，嚴格管制，以確保其品質。