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::: 研發成果

論文

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【年度】101 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 軍品釋商科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 光電半導體元件與系統應用關鍵計畫
論文名稱 Mesurement fo microstructuer in micro electro mechanical system using optical interferometric microscope
論文類型 期刊
發表處 Indian Journal of Pure & Applied Physics, Vol.50, September 2012, pp.641-649
發表人 Chern-Sheng Lin、Shu-Hsien Fu、Mau-Shiun Yeh、Chingfu Tsou、Teng-Hsien Lai
發表日期 101/08/29
國家 國外
內容摘要