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::: 研發成果

論文

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【年度】100 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
論文名稱 伯努?吸附端效器之晶圓擷取升?研究
論文類型 研討會
發表處 中華民國力學學會第35屆全國力學會議
發表人 陳献忠
發表日期 100/11/18
國家 國內
內容摘要 本論文在研究由伯努?原?(Bernoulli Principle)產生非接觸升?效應之半導體製程系統晶圓搬運裝置的擷取?。此晶圓擷取裝置含有中央吸氣口和邊緣噴氣口。晶圓浸置於放射??入氣體的?場以FDS軟體求解。模擬結果顯示：此裝置適當的吸氣和噴氣設定可形成一低壓環境?擷取晶圓。