(一)計畫期程與經費規模：
1.創新服務型：計畫期程為一年。單一公司申請之計畫，其補助經費上限為新臺幣三百萬元；如為二家以上公司聯合申請之計畫，其補助經費總額上限為新臺幣五百萬元。
2.產業加值型：計畫期程為一年以上，並以三年為限。單一公司申請之計畫，其每年補助經費上限為新臺幣一千萬元；如為二家以上公司聯合申請之計畫，應推派一家擔任主導廠商（其餘為聯盟廠商），其每年補助經費總額上限為新臺幣二千萬元，主導廠商每年補助上限為新臺幣一千萬元，單一聯盟廠商每年補助上限為新臺幣五百萬元。單一計畫全程補助經費總額上限為新臺幣三千萬元。
(二)計畫之補助比例，不得超過申請補助計畫全案總經費之百分之五十。
(三)補助科目範圍，限於與審查通過計畫相關之下列項目：
1.創新或研究發展人員之人事費。
2.消耗性器材及原材料費。
3.創新或研究發展設備之使用費及維護費。
4.無形資產之引進。
5.委託研究或驗證費。
6.差旅費。
(四)計畫之補助經費及自籌款，均列入查核範圍，其經費編列應符合「經濟部業界能源科技專案經費補助範圍與編列原則及查核準則」。
(五)為確保計畫之自主性，無形資產引進及委託研究兩項經費合計，以不超過計畫補助經費百分之四十為原則。