簡介：
高純綠能濺鍍產品主要以電子束熔煉 (Electron Beam Melting, EBM) 技術製程，本技術在高真空下，使用低汙染的水冷銅坩鍋進行材料純化，是一種良好的熔煉與精鍊方式，現今常被運用在高純度、高熔點、高活性金屬材料的產製，如：鉬、鈦、鉭、鎢、鈮、釩等材料。
技術特性：
在超高純度濺鍍靶材，以及電子元件回收方面扮演重要的角色，此法有別於其他火法冶金技術，利用電子束熔煉時之密度分離、除氣與蒸氣壓分離等方式，可解離金屬中雜質以達到4N以上之超高純度。
應用範圍：
高純綠能濺鍍材料主要應用於半導體元件、薄膜太陽能電池及節能元件所使用之關鍵材料。
產業價值：
藉由高階稀有綠能產業鏈的形成，扶植上、中游廠商成為下游新產品製造商強力的後盾，擺脫國外箝制，促使高熔點/高純度綠能濺鍍用材料達成國內自製率40%以上之目標，取代進口。
