簡介：
本製程能量為利用本院既有之四吋碳化矽長晶關鍵技術及專利授權，建置國內首例碳化矽試製量產線，以便未來技轉後加速量產及產線整合。在達成試製量產目標同時能進入下游元件廠驗證，以奠定進入半導體上游材料供應鏈基石。
技術特性：
建置碳化矽生產製造流程，採購量產型「昇華氣氛及功率調控系統」，結合過往長晶經驗建立量產型設備長晶技術，並與業者合作晶體切割、研磨及拋光，除引進業界能量加速發展外，並可完成接近於量產技術吸引業者投資。
應用範圍：
主要應用於碳化矽元件，並可應用在高功率模組、ICT功率應用模組、節能、綠能，如電動車/混合動力車、換頻器等電力系統、以及高頻通訊系統等。
產業價值：
有利於國內碳化矽電子產業之晶圓進口取代，可降低生產成本，將具有新台幣1億元以上之產業效益。
