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::: 技術處科專

成果案例

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【科專】關鍵技術科專
【領域】 電資通光
【名稱】 推動高功率碳化矽元件單晶晶體產業

研發實蹟:

       藉由科專計畫經費投資,自100年起引進國外2吋及4吋碳化矽單晶生長爐,不到兩年時間已完成2吋及4吋之4H單晶晶體,品質達到Dummy等級,成功自行開發國內首片4吋碳化矽單晶晶圓,代表我國進入寬能矽材料單晶製造國。103年起於本院龍園園區建置碳化矽單晶晶圓試量生產線,供應晶圓片給國內學界及業界。

產業推動:

       協助台聚光電公司申請業界科專,發展應用於高功率模組之碳化矽單晶生長技術,並積極整合國內車用電子大廠朋程公司、元件製造業者廣鎵公司以及長晶大廠台聚光電公司,與環球晶圓、敦南科技等公司籌組成立功率元件及晶體研發聯盟,推動國內晶體產業及相關應用。