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::: 技術處科專

成果案例

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【科專】關鍵技術科專
【領域】 電資通光
【名稱】 碳化矽晶體關鍵技術填補產業上游缺口,提昇產業競爭力

藍寶石龍頭廠-台聚光電公司

       執行單晶碳化矽晶體熱場模擬及檢驗技術研發,協助業者順利達成計畫目標,成為國內第一家具有碳化矽長晶關鍵技術之業者。本院協助開發內容計有:長晶熱場模擬、霍爾量測、電阻率、表面粗糙度等。

矽半導體晶圓龍頭-環球晶圓公司

       執行碳化矽單晶生長關鍵技術技術移轉,第一期以先期參與方式進行,執行2吋晶體展示以及教育訓練,後續將持續推動技術移轉,預計今年完成。

執行效益:

       台聚光電及環球晶圓公司分別為國內藍寶石及矽晶圓龍頭大廠,與本院進行先期參與在產業推動方面具有指標性意義:

1.國內業者已開始重視並投入開發(自行開發及技轉),並且帶動中游元件業者投入,如敦南、富鼎、茂矽等。

2本院將試製量產能量擴散至業界,以加速提昇產業效益。