"1.透過「薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫」，結合巨亞機械與速敏科技等公司建立大面積低溫電漿矽薄膜沉積設備與製程設備與關鍵模組技術開發，達成矽鍍膜均勻度≦5%，開發出沉積率大於12Aº/S高速微晶矽薄膜鍍膜製程設備技術，技術層級與國際領先國同步，預估未來每年可增加產值 1億元。 2.建構高密度電漿機台設備與關鍵模組如微波電漿源模組、大尺寸真空閘閥、大面積靜電吸附加熱平台、大面積陣列式微波模組等國內自主技術開發，建立矽薄膜製程之應用開發，包含矽薄膜太陽能電池、薄膜電晶體等應用，創造產業價值。
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