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::: 技術處科專

可移轉技術

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民國111年
民國112年
民國113年
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【年度】102 年研發成果
【科專】 關鍵技術科專
【領域】 電資通光
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年度

102
計畫名稱 智慧綠能電子車電關鍵技術計畫
執行單位 材料暨光電研究所
技術名稱氮化鋁e-chuck共燒成品可靠度驗證技術
技術現況敘述本項技術提供氮化鋁e-chuck共燒成品進行機械性質、電絕緣性與熱衝擊性質之深入檢測分析。、
技術規格氮化鋁e-chuck共燒成品的四點抗彎強度及維式硬度測試驗證技術、氮化鋁e-chuck共燒成品的電絕緣性與漏電流測試驗證技術、氮化鋁e-chuck共燒成品的散熱性能驗證技術、氮化鋁e-chuck共燒成品的熱衝擊循環測試驗證技術。
技術成熟度其他
技術可應用範圍高低溫氮化鋁e-chuck
潛力預估半導體製程的鍍膜、離子植入、黃光與蝕刻等製程設備
所需軟硬體設備熱衝擊循環測試、電性測試、機械強度測試設備
需具備之專業人才材料、機械相關背景
聯絡人員郭養國
電子信箱ykkuo2002@yahoo.com.tw
電話03-4712201#358172
傳真03-4116381
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