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::: 技術處科專

可移轉技術

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民國111年
民國112年
民國113年
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【年度】104 年研發成果
【科專】 關鍵技術科專
【領域】 電資通光
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年度

104
計畫名稱 高階手持裝置三維整合應用技術計畫
執行單位 化學研究所
技術名稱氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷製備方法
技術現況敘述本發明係提供一種氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷製備方法，該方法係包含以下步驟：提供第一層氮化鋁生片進行刮刀成型、落料；該第一層氮化鋁生片之一面進行網版印刷金屬電極，其中該金屬之油墨配方主成分以高熔點之金屬為主；提供第三層氮化鋁生片之一面疊層於該第二層之金屬電極上；以低溫低壓方式將第一層氮化鋁生片、第二層金屬電極及第三層氮化鋁生片之異質陶瓷層壓成型；該層壓成型之異質陶瓷以一燒結溫度曲線進行共燒，製得氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷，可減少金屬電極與氮化鋁陶瓷之間的燒結收縮比例差異，進而提升金屬電極與氮化鋁生片之間的界面強度與均勻附著性。、
技術規格以金屬與陶瓷間共燒結合之方法，藉由本發明提供之方法可減少金屬電極與氮化鋁陶瓷之間的燒結收縮比例差異，提升金屬電極之界面強度與附著性。
技術成熟度試量產
技術可應用範圍半導體產業。
潛力預估市場預估30億台幣。
所需軟硬體設備半導體相關軟硬體設備。
需具備之專業人才材料、化學化工相關背景
聯絡人員郭養國
電子信箱ykkuo2002@yahoo.com.tw
電話03-4712201#358172
傳真03-4116381
參考網址http://www.csistdup.org.tw/