*

::: 技術處科專

可移轉技術

*
民國111年
民國112年
民國113年
 *
【年度】101 年研發成果
【科專】 關鍵技術科專
【領域】 電資通光
關鍵字搜尋
年度

101
計畫名稱 智慧綠能電子車電關鍵技術計畫
執行單位 材料暨光電研究所
技術名稱碳化矽單晶檢測數
技術現況敘述使用材料特性分析技術，檢測碳化矽單晶晶體成長過程中產生之缺陷，以及確定晶體品質。由於碳化矽單晶在國內屬於新興材料，因此相關之檢測知識必須重新建立，無論是材料特性或是用於調控生長參數將會是相當有用的資訊。、
技術規格(1)  建立X-Ray繞射定向、拉曼光譜、PL、干涉儀量測與分光分析技術，以非破壞性方式檢驗晶體/晶圓品質。(2)  建立蝕刻、缺陷識別、X-Ray繞射粉末量測、歐姆接點與鍵結能驗證技術，以破壞性方式檢驗晶體/晶圓品質。
技術成熟度實驗室階段
技術可應用範圍碳化矽晶體
潛力預估中
所需軟硬體設備材料檢測儀器如AFM,SEM, Ramann等 0
需具備之專業人才材料、光電
聯絡人員江瑞軒
電子信箱csist@csistdup.org.tw
電話2-4712201＃357080
傳真(03)4711024
參考網址