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技術類別	光電工程
技術名稱	碳化矽晶體定向校驗
技術簡介	碳化矽晶體方向之精度量測；包含C軸定位精度、主平邊及次平邊定位精度，角度定位：±0.05度
技術規格	樣品製作(取樣)2至6吋碳化矽圓碇；檢測標準作業程序(s.o.p) 1. 檢測條件設定及待測物設置 2. 執行檢測程序 3. 檢測資料分析整理 4. 檢測完畢取出樣品
技術特色
應用範圍
主要機儀具	晶體定向加工系統（Bruker D8）
主要實驗室
聯絡窗口	黃俊彬
電話	03-4712201 #359622 bin@ncsist.org.tw
備考

造訪人次 7452199 線上人數 1130．網站更新日期：2025/05/07 13:12:24 使用規範 / 隱私權政策